Skip to main content

Петров В.В., Крючин А.А., Горбов І.В., Панкратова А.В., Манько Д.Ю., Бородін Ю.О., Шиховець О.В.Формування субмікронних рельєфних структур на поверхні сапфірових підкладок // ФІЗИКА І ХІМІЯ ТВЕРДОГО ТІЛАТ.24, No2 (2023) С.298-303.

                Проведено аналіз технологій, які дозволяють створювати мікрорельєфні структури на поверхні сапфірових підкладок. Показано, що найбільш ефективним методом формування рельєфних структур із субмікронними розмірами є йонно-променеве травлення через сформовану методом фотолітографії захисну маску. Основні проблеми при створенні мікрорельєфу на поверхні сапфірових підкладок полягають у видаленні статичного електричного заряду в процесі йонно-променевого травлення підкладок, а також отриманні захисної маски з вікнами заданих розмірів, через яку здійснюється травлення сапфірової підкладки.

Beibei Xu,Valeriy Kuzminykh, Shiwei Zhu, Junfeng Yu, Mingjun Zhang, Sisi Li, Dmytro Lande.Research on library construction driven by multi-technology integration // In: Proceedings Volume 12462, Third International Symposium on Computer Engineering and Intelligent Communications (ISCEIC 2022); 124620K (2023) https://doi.org/10.1117/12.2660850